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可供星载的分子污染监测器

兰州物理研究所421课题组   

  • 发布日期:1984-04-25

  • Published:1984-04-25

摘要: 本文介绍了一种适用于航天器的分子污染监测器的原理、结构及实验结果。这种监测器也可应用于地面设备的分子污染监测以及真空溅射、升华、蒸发的膜厚精密监控。