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马胜歌,达道安,张涤新
Ma Shengge Da Daoan Zhang Dixin( Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000)
摘要: 借助一个封闭的球形理论模型, 对稳态非均匀分子流环境下的凹半球形轨道分子屏进行研究。计算了试验区分子数密度分布情况, 讨论了主要影响因素。结果显示: 利用凹半球形轨道分子屏可获得108分子数/m 3 (等效于10- 12 Pa) 的极高真空, 分子屏出气对试验区分子数密度的贡献是主要的, 分子屏粘附系数增大不能有效改善空载情况下分子屏试验区的真空度。