中国空间科学技术

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半导体器件铝腐蚀的判别方法研究

夏泓,江理东,姚建廷,叶新全   

  1. 北京卫星环境工程研究所 ,北京卫星环境工程研究所 ,北京卫星环境工程研究所 ,北京卫星环境工程研究所
  • 发布日期:1993-08-25

A RESEARCH ON IDENTIFICATION OF ALUMINUM CORROSION OF SATELLITE SEMICONDUCTOR DEVICE

Xia Hong Jiang Lidong Yao Jianting Ye Xinquan (Beijing Institute of Satellite Environment Engineering)   

  • Online:1993-08-25

被引次数

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摘要： 半导体器件内部铝腐蚀是卫星用半导体器件主要的失效模式之一,快速准确地判断铝腐蚀具有重要意义。文章给出了判别方法和程序,并对方法中的关键技术进行研讨。

关键词: 半导体器件, 铝腐蚀, 失效模式, 判别分析

Abstract: One of the main failure modes of the satellite semiconductordevices is the aluminium corrosion within package in the late 1980 s.Therefore,fast and accurate identification of this failure mode is veryimportant.This paper provides the method and procedure for identifi-cation of aluminium corrosion and discusses the key techniques.